| 三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究 |
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| 引用本文： | 汪洁,常素萍,谢铁邦.三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究[J].计量学报,2006,27(Z1):160-163. |
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| 作者姓名： | 汪洁 常素萍 谢铁邦 |
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| 作者单位： | 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时,其垂直测量范围可达80μm的三维表面轮廓测量要求.
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| 关 键 词： | 计量学 表面三维轮廓测量 垂直扫描白光干涉法 |
| 文章编号： | 1000-1158(2006)3A-0160-04 |
| 修稿时间： | 2006年6月5日 |
Research of Vertical Scanning White-light Interferometric Measuring Method for 3D Surface Profile |
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| WANG Jie,CHANG Su-ping,XIE Tie-bang.Research of Vertical Scanning White-light Interferometric Measuring Method for 3D Surface Profile[J].Acta Metrologica Sinica,2006,27(Z1):160-163. |
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| Authors: | WANG Jie CHANG Su-ping XIE Tie-bang |
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