| 激光修调对CrSi薄膜电阻稳定性的影响 |
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| 引用本文： | 罗山,向培胜,胡剑书.激光修调对CrSi薄膜电阻稳定性的影响[J].压电与声光,2010,32(5). |
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| 作者姓名： | 罗山 向培胜 胡剑书 |
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| 作者单位： | 1. 空军工程大学,陕西,西安,710000;驻重庆气体压缩机厂军事代表室,重庆,400060
2. 驻重庆气体压缩机厂军事代表室,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 该文分析了激光修调对CrSi薄膜电阻稳定性的影响,获得了对CrSi薄膜电阻进行激光修调的优化方法.实验结果表明,150 ℃储存48 h,可完全消除激光修调带来的影响,使CrSi薄膜电阻温度系数降到了20×10-6/℃,提高了CrSi薄膜电阻网络的稳定性,从而为研制高性能模拟集成电路打下坚实的基础.
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| 关 键 词： | CrSi电阻 激光修调 温度系数 |
Effect of Laser Trimming on the Stability of CrSi Thin-film Resistor |
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| LUO Shan,XIANG Peisheng,HU Jianshu.Effect of Laser Trimming on the Stability of CrSi Thin-film Resistor[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2010,32(5). |
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| Authors: | LUO Shan XIANG Peisheng HU Jianshu |
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