| SnO2和SnO2-Ag薄膜的电学特性 |
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| 引用本文： | 高晓光 李建平 王悦 于中尧 王利. SnO2和SnO2-Ag薄膜的电学特性[J]. 真空科学与技术学报, 2001, 21(1): 9-13 |
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| 作者姓名： | 高晓光 李建平 王悦 于中尧 王利 |
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| 作者单位： | 高晓光（中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100080）;李建平（中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100080）;王悦（中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100080）;于中尧（中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100080）;王利（中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100080） |
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| 摘 要： | 用磁控溅射法在集成了铂加热电极的Si基膜片型微结构单元上制备了SnO
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| 关 键 词： | SnO |
| 文章编号： | 0253-9748(2001)01-0009-05 |
| 修稿时间： | 2000-03-25 |
Electrical Properties ofSnO2 and SnO2-Ag Thin Films |
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| Gao Xiaoguang. Electrical Properties ofSnO2 and SnO2-Ag Thin Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2001, 21(1): 9-13 |
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| Authors: | Gao Xiaoguang |
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