| 一种改进型梁-岛-膜压力传感器的研究与设计 |
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| 引用本文： | 郝建红,范宗皓,李艺.一种改进型梁-岛-膜压力传感器的研究与设计[J].仪表技术与传感器,2019(4):10-14,19. |
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| 作者姓名： | 郝建红 范宗皓 李艺 |
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| 作者单位： | 华北电力大学电气与电子工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(61372050);科技部区及科技合作项目(2011DFR00780) |
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| 摘 要： | 研究了一种量程为800kPa的改进型梁-岛-膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过与常见的C型和E型结构进行仿真对比,证明这种改进型结构的传感器灵敏度得到了很大提高。采用Intel liSuite仿真分析最大等效应力、挠度和输出电压,得出在中心膜尺寸为2.6mm×2.6mm×60μm,梁尺寸为400μm×200μm×60μm,岛尺寸为1.3mm×1.3mm×370μm的情况下,该结构具有较高的线性度和灵敏度,同时进行了制版与加工流程定义。为了实现结构的优化,设计了压敏电阻的尺寸和阻值,通过对改进型结构的仿真,确定了获得最大电压输出时压敏电阻的尺寸;并分析比较了同一硅杯尺寸下3种结构不同压力下的最大等效应力、挠度和输出电压分布图,得出改进型结构灵敏度最佳。
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| 关 键 词： | 压阻式压力传感器 压敏电阻 IntelliSuite 改进型梁-岛-膜结构 MEMS 灵敏度 |
Research and Design of Improved Beam Island Membrane Pressure Sensor |
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| HAO Jian-hong,FAN Zong-hao,LI Yi.Research and Design of Improved Beam Island Membrane Pressure Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2019(4):10-14,19. |
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| Authors: | HAO Jian-hong FAN Zong-hao LI Yi |
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| Affiliation: | (School of Electrical&Electronic Engineering,North China Electric Power University,Beijing 102206,China) |
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| Abstract: | HAO Jian-hong;FAN Zong-hao;LI Yi(School of Electrical&Electronic Engineering,North China Electric Power University,Beijing 102206,China) |
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| Keywords: | piezoresistive pressure sensor piezoresistor IntelliSuite improved beam island membrane structure MEMS sensitivity |
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