| 基于可调谐激光吸收光谱的湿度传感器研究 |
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| 引用本文： | 张可可,陈世哲,赵强,王波,闫星魁,王楷,刘野.基于可调谐激光吸收光谱的湿度传感器研究[J].仪表技术与传感器,2019(6):1-4,22. |
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| 作者姓名： | 张可可 陈世哲 赵强 王波 闫星魁 王楷 刘野 |
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| 作者单位： | 齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院海洋仪器仪表研究所山东省海洋环境监测技术重点实验室国家海洋监测设备工程技术研究中心 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划项目(2017YFC1403303);山东省自然科学基金项目(ZR2017QD015);山东省重点研发计划项目(2016GGH4501,GG201703130110);青岛市应用基础研究计划项目(17-1-1-99-jch) |
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| 摘 要： | 针对湿敏电容式温湿度传感器存在的低温高湿环境测量不准确、响应时间长、高湿褪湿慢等问题,基于可调谐半导体激光吸收光谱技术,提出利用正弦波有效值归一法测量环境湿度,以二次谐波峰峰值和正弦波有效值的比值作为系统输出,抑制视窗污染和激光器功率衰减产生的光强变化对湿度测量的影响。在国家气象基本站与传统湿敏电容式温湿度传感器进行了比测,实验结果表明2种温湿度传感器测量数据的一致性很好,证明正弦波有效值归一法测量环境湿度的有效性。
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| 关 键 词： | 传感器 湿度 可调谐半导体激光吸收光谱 正弦波有效值 |
Research on Humidity Sensor Based on Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy |
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| ZHANG Ke-ke,CHEN Shi-zhe,ZHAO Qiang,WANG Bo,YAN Xing-kui,WANG Kai,LIU Ye.Research on Humidity Sensor Based on Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy[J].Instrument Technique and Sensor,2019(6):1-4,22. |
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| Authors: | ZHANG Ke-ke CHEN Shi-zhe ZHAO Qiang WANG Bo YAN Xing-kui WANG Kai LIU Ye |
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| Affiliation: | (Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences),Institute of Oceanographic Instrmentation,Shandong Provincial Key Laboratory of Ocean Enviromental Monitoring Technology,National Engineeringand Technological Research Center of Marine Monitoring Equipment,Qingdao 266100,China) |
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| Abstract: | ZHANG Ke-ke;CHEN Shi-zhe;ZHAO Qiang;WANG Bo;YAN Xing-kui;WANG Kai;LIU Ye(Qilu University of Technology (Shandong Academy of Sciences),Institute of Oceanographic Instrmentation,Shandong Provincial Key Laboratory of Ocean Enviromental Monitoring Technology,National Engineeringand Technological Research Center of Marine Monitoring Equipment,Qingdao 266100,China) |
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| Keywords: | sensor humidity tunable diode laser absorption spectroscopy sinusoidal RMS |
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