工模具的PAMOCVD涂层研究

采用金属有机物ＴＰＴ［（Ｃ３Ｈ７Ｏ）４．Ｔｉ］或ＴＥＴ［（Ｃ２Ｈ５Ｏ）４Ｔｉ］代替ＴｉＣｌ４作为供钛源进行ＰＡＭＯＣＶＤ处理。研究了不同工艺参数对涂层性能的影响。通过对涂层钻头、凸模、模具寿命的对比试验表明，ＰＡＭＯＣＶＤ涂层Ｈ１３铝型材挤压模寿命可提高２倍，标准件凸模寿命可提高１～２倍，钻头寿命可提高近６倍，且比ＰＣＶＤＴｉＮ涂层钻头寿命提高２～３倍，并解决了对设备的腐蚀问题。