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| ITO薄膜的光学性能研究 | |
| 引用本文： | 王敏,蒙继龙,陈明光.ITO薄膜的光学性能研究[J].中国表面工程,2003,16(5):27-29,32. |
| 作者姓名： | 王敏 蒙继龙 陈明光 |
| 作者单位： | 1. 广东技术师范学院,机电系,广东,广州,510640 2. 华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640 3. 华南理工大学,应用物理系,广东,广州,510640 |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法制备了ITO薄膜，并对溶胶-凝胶法中Sn掺杂量、后续热处理温度以及热处理时间3种工艺参数对ITO薄膜可见光区透射率的影响进行了分析和研究。研究结果表明：w(Sn)掺杂量小于10％时，ITO薄膜的透射率下降缓慢，掺杂量大于10％后，薄膜的透射率急剧下降；随着热处理时间的延长，ITO薄膜的透射率直线型下降；热处理温度与ITO薄膜透射率呈曲线关系，热处理温度为500℃时，ITO薄膜的透射率出现最大值。 |
| 关 键 词： | ITO薄膜 溶胶-凝胶法 光学性能 透射率 |
| 文章编号： | 1007-9289(2003)05-0027-03 |
Optical Properties of ITO Films |
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| WANG Min,MENG Ji-long,CHEN Ming-guang.Optical Properties of ITO Films[J].China Surface Engineering,2003,16(5):27-29,32. | |
| Authors: | WANG Min MENG Ji-long CHEN Ming-guang |
| Affiliation: | WANG Min1,MENG Ji-long2,CHEN Ming-guang3 |
| Abstract: | |
| Keywords: | ITO films sol-gel method optical properties transmittance |
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