| 掺铝对ZnO薄膜光学常数的影响 |
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| 引用本文： | 洪伟铭. 掺铝对ZnO薄膜光学常数的影响[J]. 半导体光电, 2007, 28(2): 205-208 |
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| 作者姓名： | 洪伟铭 |
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| 作者单位： | 湛江师范学院,广东,湛江,524048 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在(0001)蓝宝石衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用Kramers-Kronig色散关系对ZnO∶Al薄膜在300～600 nm波长区域的光学常数进行计算,研究了掺杂浓度对薄膜光学常数的影响.计算结果显示,在可见光区,薄膜的光学常数受铝掺杂浓度的影响很小,折射率、消光系数、复介电常数实部和虚部的数值基本恒定,分别约为1.6,0.08,0.27和2.5.在紫外区,薄膜光学常数受掺杂浓度的影响明显,随掺杂浓度提高,光学常数数值均减小,并且都在激子吸收峰(370 nm)处出现一极大值.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 折射率 Al掺杂 溶胶-凝胶 Kramers-Kronig色散关系 |
| 文章编号： | 1001-5868(2007)02-0205-04 |
| 修稿时间： | 2006-08-23 |
Effects of Dopant Concentration on Optical Constants of ZnO: Al Thin Films by Sol-gel Technique |
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| HONG Wei-ming. Effects of Dopant Concentration on Optical Constants of ZnO: Al Thin Films by Sol-gel Technique[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2007, 28(2): 205-208 |
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| Authors: | HONG Wei-ming |
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| Affiliation: | Zhanjiang Normal College, Zhanjiang 524048, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin films refractive index Al-doped sol-gel Kramers-Kronig relationship |
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