| 衍射光学元件表面形貌测量方法研究 |
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| 引用本文： | 周明宝,林大键,白临波.衍射光学元件表面形貌测量方法研究[J].光电工程,1998(Z1). |
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| 作者姓名： | 周明宝 林大键 白临波 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都，610209，中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都，610209，中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室!成都，610209 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于双光路双波长相移干涉显微原理的新型 DOE三维表面形貌测量方法 ,并建立了相应的测量系统。理论分析和测量结果表明 ,测量系统纵向分辨率为 0 .5 nm,横向分辨率约为 0 .5 μm(NA=0 .4) ,在整个纵向测量范围内重复测量精度优于 1 .3nm,满足了 DOE表面形貌测量的需要。
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| 关 键 词： | 衍射光学元件 面形测量 三维测量 相移干涉术 |
Investigation on Measuring Method for3-D Surface Topography of Diffractive Optical Elements |
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| Zhou Mingbao,Lin Dajian,Bai Linbo.Investigation on Measuring Method for3-D Surface Topography of Diffractive Optical Elements[J].Opto-Electronic Engineering,1998(Z1). |
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| Authors: | Zhou Mingbao Lin Dajian Bai Linbo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Diffractive optical elements Surface shape measurement Three- dimensional measurement Phase- shifting interferometry |
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