|
|||||
|
|
| 硅片磨削砂轮的新进展 | |
| 引用本文： | 徐明辉.硅片磨削砂轮的新进展[J].机械制造,2012,50(5):69-73. |
| 作者姓名： | 徐明辉 |
| 作者单位： | 金华职业技术学院 浙江金华321017 |
| 摘 要： | 在硅片制造过程中,磨削加工已经成为非常重要的工艺手段.随着对硅片加工高质量、低成本要求的不断提高,对加工中所使用的磨削砂轮要求其具有低磨削表面损伤、良好的自锐能力、保持一致性、长寿命和低成本等性能.对硅片磨削砂轮近年来的技术进行了回顾,论述了为满足这些严格要求,在硅片磨削砂轮的磨料、结合剂材料、孔隙生成以及几何设计方面的进展. |
| 关 键 词： | 硅片 磨削 砂轮 金刚石磨料 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |