| 热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统 |
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| 引用本文： | 范兆岩,崔大付,陈德勇,高晓童. 热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统[J]. 半导体学报, 2003, 24(8): 866-870 |
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| 作者姓名： | 范兆岩 崔大付 陈德勇 高晓童 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080(范兆岩，崔大付，陈德勇)，中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080(高晓童) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6993 60 10 )~~ |
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| 摘 要： | 利用正反馈闭环谐振原理,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路,并对该电路进行了综合调试.实验结果表明,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换,以及快速、准确采集压力数据的功能,采集频率范围为30～10 0kHz ,频率采集精度为±1Hz,温度采集精度为0 0 3℃.
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| 关 键 词： | 硅梁 数据采集系统 闭环谐振 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)08-0866-05 |
| 修稿时间： | 2002-09-16 |
Close-Loop Data-Acquisition System for Thermally Excited Resonant Microbeam Pressure Sensor |
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| Fan Zhaoyan,Cui Dafu,Chen Deyong and Gao Xiaotong. Close-Loop Data-Acquisition System for Thermally Excited Resonant Microbeam Pressure Sensor[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2003, 24(8): 866-870 |
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| Authors: | Fan Zhaoyan Cui Dafu Chen Deyong Gao Xiaotong |
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| Abstract: | In order to meet the practicality of the thermally excited microbeam resonant pressure sensor,a close loop data acquisition system is developed and reported.The close loop resonance method is adopted to design the low noise driver circuit and high precision signal processing circuit.Automatic frequency adjustment and accurate data conversion are realized.The test indicates that the system can meet the requirement of resonant sensor with center frequency from 30kHz to 100kHz. |
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| Keywords: | silicon microbeam data acquisition system close loop resonance |
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