| 氮化铝光波导的特性研究 |
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| 引用本文： | 陈林 袁一方. 氮化铝光波导的特性研究[J]. 上海第二工业大学学报, 1998, 15(2): 16-21 |
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| 作者姓名： | 陈林 袁一方 |
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| 作者单位： | [1]上海第二工业大学 [2]上海理工大学 |
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| 摘 要： | 氮化铝是一种重要的近紫外，蓝光半导体材料，它具有优良的物理特性。本文介绍了用ＭＯＣＶＤ制作的氮化铝波导的物理特性，尤其对氮化铝光波导薄膜的光学特进行了深入的研究，用波导测试的方法获得了其折射率的精确实验数据。
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| 关 键 词： | 氮化铝 光波导 半导体 物理特性 光学特性 |
The research on the properties of Aluminum Nitride Waveguide |
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| Chen Lin. The research on the properties of Aluminum Nitride Waveguide[J]. Journal of Shanghai Second Polytechnic University, 1998, 15(2): 16-21 |
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| Authors: | Chen Lin |
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| Abstract: | Aluminum nitride is an important semi conductive material used in the blue and near ultraviolet band. AIN has many excellent physical properties. This paper introduces the physical properties of aluminum nitride waveguide developed by MOCVD, especially on its optical property, and acquires the precise experiment data of its refractive index by waveguide mathod. |
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| Keywords: | aluminum nirtride waveguide prism coupling |
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