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| GLI-100型量块激光干涉仪 | |
| 引用本文： | 王承钢,汪德宝,杨自本,叶孝佑,翟富华.GLI-100型量块激光干涉仪[J].现代计量测试,1993,1(2):15-22. |
| 作者姓名： | 王承钢 汪德宝 杨自本 叶孝佑 翟富华 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院，中国计量科学研究院，中国计量科学研究院，中国计量科学研究院，中国计量科学研究院 |
| 摘 要： | 本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。 |
| 关 键 词： | 激光干涉仪 量块 |
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