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GLI-100型量块激光干涉仪
作者姓名:王承钢  汪德宝  杨自本  叶孝佑  翟富华
作者单位:中国计量科学研究院,中国计量科学研究院,中国计量科学研究院,中国计量科学研究院,中国计量科学研究院
摘    要:本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。

关 键 词:激光干涉仪 量块
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