| 工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究 |
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| 引用本文： | 张文琼,方亮. 工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究[J]. 硅酸盐通报, 2020, 39(6): 1949-1953 |
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| 作者姓名： | 张文琼 方亮 |
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| 作者单位： | 厦门大学嘉庚学院,漳州,363105 |
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| 基金项目： | 福建省漳州市自然科学基金(ZZ2018J27)%厦门大学嘉庚学院预研究项目(YY2019L03) |
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| 摘 要： | 采用ICP601型刻蚀机,对石英玻璃进行刻蚀,结果表明,随着气压增大,刻蚀速率增大,0.5 Pa时,刻蚀速率达到峰值50 nm/min,而后随着气压的增大,刻蚀速率降低.0.5 Pa气压下的石英玻璃微槽底部平直,“长草现象”逐步消失.随着功率的增大,刻蚀速率变快.通过不同玻璃材料的刻蚀,可以看出,在采用SF6刻蚀剂的情况下,K9玻璃的刻蚀速率大于石英玻璃的刻蚀速率,GG17耐高温玻璃的刻蚀速率小于石英玻璃的刻蚀速率.本研究可为玻璃微器件制备提供工艺参考.
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| 关 键 词： | 石英玻璃 等离子体 刻蚀 气压, |
Etching Performance of Quartz Glass by the Choice of Process Parameters |
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| ZHANG Wenqiong,FANG Liang. Etching Performance of Quartz Glass by the Choice of Process Parameters[J]. Bulletin of the Chinese Ceramic Society, 2020, 39(6): 1949-1953 |
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| Authors: | ZHANG Wenqiong FANG Liang |
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| Keywords: | |
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