| 无定形Si-C-O-N涂层的光学性能研究 |
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| 引用本文： | 唐惠东,孙媛媛,李龙珠,谭寿洪.无定形Si-C-O-N涂层的光学性能研究[J].陶瓷学报,2013,34(1):1-4. |
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| 作者姓名： | 唐惠东 孙媛媛 李龙珠 谭寿洪 |
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| 作者单位： | 1. 常州工程职业技术学院材料工程技术系,江苏常州,213164
2. 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究规划(863项目)资助项目(编号:2006AA03Z539);常州工程职业技术学院2010年度院级科研项目(编号:KJY2010-06) |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射法,在SSiC陶瓷表面沉积一层无定形Si-C-O-N涂层,测试了抛光后的涂层和SSiC陶瓷在不同波段的反射率情况.结果表明:在软X射线波段,涂层的反射率小于SSiC陶瓷；在EUV波段,两者反射率基本相当；在UV-VIS-NIR波段,涂层的反射率优于SSiC陶瓷.这主要归因于表面粗糙度和涂层中氧元素对反射率共同作用的结果.
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| 关 键 词： | Si-C-O-N涂层 软X射线 EUV UV-VIS-NIR 反射率 |
Optical Performance of Amorphous Si-C-O-N Coating |
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| TANG Huidong
,
SUN Yuanyuan
,
LI Longzhu
,
TAN Shouhong.Optical Performance of Amorphous Si-C-O-N Coating[J].Journal of Ceramics,2013,34(1):1-4. |
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| Authors: | TANG Huidong SUN Yuanyuan LI Longzhu TAN Shouhong |
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| Affiliation: | 1.Department of Materials Engineering Technology,Changzhou Institute of Engineering Technology,Changzhou,Jiangsu 213164,China;2.Shanghai Institute of Ceramics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China) |
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