MOS试剂

MOS试剂是电子工业中不可缺少的关键材料,在电子计算机和大规模集成电路的制造过程中,所使用MOS试剂的纯度对它们的质量有极密切的关系。随着时代的推移,技术的进展,MOS试剂的纯度正在不断刷新。关于MOS试剂中的杂质不外乎二类:一是溶解的杂质,一是微粒(不溶解的杂质),它们一旦与集成电路表面接触,便形成污染的潜在来源而影响成品率,这样,为了取得高的成品率,就必须将它们的质景提高。