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周期换向脉冲参数对电镀金的影响
作者姓名:王卿  张勇斌  陈金明  王锋
作者单位:中国工程物理研究院,机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621900;中国工程物理研究院,机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621900;中国工程物理研究院,机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621900;中国工程物理研究院,机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621900
基金项目:国家自然科学基金;四川省科技计划
摘    要:采用周期换向脉冲在柠檬酸盐体系中电镀金,研究了正向脉冲数、反向脉冲峰电流密度和反向脉冲宽对沉积速率,镀金层表面形貌、相结构和厚度均匀性的影响。得到的较优工艺参数为:正向脉冲峰电流密度2.76 A/dm~2,正向脉冲宽100μs,正向占空比10%,正向脉冲数5~15;反向脉冲峰电流密度3.45~6.21 A/dm~2,反向脉冲宽100~160μs,反向占空比10%,反向脉冲数1。在较佳工艺下的沉积速率约为0.11μm/min,所得镀金层均匀、致密,呈光亮的金黄色。

关 键 词:电镀金  周期换向脉冲波形  沉积速率  表面形貌  相结构  厚度均匀性
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