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| 谈硅烷法制备太阳能级多晶硅的工艺 | |
| 作者姓名： | 肖全松 张纯 |
| 作者单位： | 1. 江西赛维LDK光伏硅科技有限公司生产技术部 2. 江西赛维LDK光伏硅科技有限公司公用工程部 |
| 摘 要： | 本文综述了硅烷热解法制备多晶硅的几种工艺,特别是对于硅烷的制备方法进行了详细的探讨。如Komatsu硅化镁法、碱金属氢化物中的硅烷法和氟化硅以及Union Carbide的歧化法。同时,还介绍了Ulmer法和Cadet电化学制备硅烷的方法,指出Na2 SiF6法是一种比较优秀的路线。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 硅烷法 太阳能级 工艺 |
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