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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
磁增强反应离子刻蚀系统中的发射光谱诊断技术
作者姓名:
赖国燕
范平
作者单位:
深圳市新开达电子公司!深圳518048(赖国燕),深圳大学应用物理系!深圳518060(范平)
摘 要:
利用发射光谱诊断技术研究了磁增强反应离子刻蚀系统中CF4+O2的辐射谱、谱线成分及强度,分析了谱线强度与射频辐射功率、氧气含量的关系,并与没有磁场存在时的情况作了比较。
关 键 词:
磁增强
反应离子刻蚀
发射光谱诊断
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