多弧离子镀制备TiAlN涂层的工艺研究

介绍了TiAlN涂层和多弧离子镀的特点及应用。总结了多弧离子镀的主要工艺参数及其他影响因素对TiAlN涂层性能的影响规律,为TiAlN涂层的工艺设计提供参考。最后分析和展望了TiAlN涂层的发展方向。