| 激光-CCD微位移传感器的研究 |
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| 引用本文： | 汪良才,刘慕锦,蒋步生,陈继清,鲍健,朱延彬. 激光-CCD微位移传感器的研究[J]. 中国激光, 1988, 15(6): 379-381 |
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| 作者姓名： | 汪良才 刘慕锦 蒋步生 陈继清 鲍健 朱延彬 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光机所(汪良才，刘慕锦，蒋步生，陈继清，鲍健)，中国科学院上海光机所(朱延彬) |
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| 摘 要： | 利用激光进行微小位移测量的激光-CCD微位移传感器是近几年发展起来的一种新技术.它具有灵敏度高、速度快、非接触测量,并与被测材料性质无关的优点.一、基本原理基本原理如图1所示,激光光源通过狭缝S沿
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| 收稿时间： | 1987-02-23 |
Study on laser-CCD sensors for microdisplacement measurements |
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| Abstract: | A laser-CCD sensor for mierodisplacement measurement based on the transformation between the object and the image is described. The mierodisplacement of cold rolling steel sheets was measured. In 1000m range, the absolute maximum error is of <10x10-6m and root-mean-square of <3.5m. |
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