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压电双晶片驱动的压电微泵的研究
引用本文:王海宁,崔大付,耿照新,陈兴. 压电双晶片驱动的压电微泵的研究[J]. 压电与声光, 2007, 29(3): 302-304
作者姓名:王海宁  崔大付  耿照新  陈兴
作者单位:中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京100080
基金项目:国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金
摘    要:介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流量进行了测试。在100 V、20 Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为317μL/min。结果显示该压电微泵的制作工艺简单,具有良好的流体驱动性能。

关 键 词:微泵  压电双晶片  聚二甲基硅氧烷(PDMS)
文章编号:1004-2474(2007)03-0302-03
修稿时间:2006-02-16

Study on Piezoelectric Micropump Driven by PZT Bimorph
WANG Hai-ning,CUI Da-fu,GENG Zhao-xin,CHEN Xing. Study on Piezoelectric Micropump Driven by PZT Bimorph[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2007, 29(3): 302-304
Authors:WANG Hai-ning  CUI Da-fu  GENG Zhao-xin  CHEN Xing
Affiliation:Institute of Electronics, Chinese Academy of Science, Beijing 100080 China
Abstract:
Keywords:micropump  piezoelectric bimorph  PDMS
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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