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| 利用加热器辐射热控制磷源温度合成InP的热场分析 | |
| 引用本文： | 彭正夫. 利用加热器辐射热控制磷源温度合成InP的热场分析[J]. 固体电子学研究与进展, 1987, 0(2) |
| 作者姓名： | 彭正夫 |
| 作者单位： | 南京电子器件研究所 |
| 摘 要： | 对利用加热器的辐射热在高压单晶炉内合成InP的热场设计作了分析,并给出了实验结果。 |
Analysis of Thermal Field on Synthesis of InP by Radiant Heat of a Heater to Control Phosphorus Temperature |
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| Abstract: | The thermal field design is analysed on synthesis of InP formed by the radiant heat of a heater to control phosphorus Temperature and the results of experiment are given as well. |
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