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| 伺服图形光刻机调焦系统音圈电机的设计 | |
| 引用本文： | 罗敢,张芳,王岳环,张彪.伺服图形光刻机调焦系统音圈电机的设计[J].新电脑,1999(3). |
| 作者姓名： | 罗敢 张芳 王岳环 张彪 |
| 作者单位： | 华中理工大学计算机学院 |
| 摘 要： | 本文以作者对光刻机刻蚀光头调焦音圈电机的设计的实际经验为例，阐述了两种音圈电机结构的设计原则。并对这两种音圈电机的性能进行了分析。 |
| 关 键 词： | 音圈电机 光刻机 氟塑料套筒 滚珠导套 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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