| 基于Duolateral PSD的高精度光位置检测系统 |
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| 引用本文： | 刘鸿飞,王淦泉,陈桂林. 基于Duolateral PSD的高精度光位置检测系统[J]. 中国仪器仪表, 2005, 0(11): 44-45 |
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| 作者姓名： | 刘鸿飞 王淦泉 陈桂林 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 |
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| 摘 要： | 精密机械加工业的发展对位置检测提出了更高的要求.Duolateral PSD(Position Sensitive Detector)克服了lateral PSD的测量错误率高、非线性严重等不足.系统实验的测量不确定度评定结果表明:基于Duolateral PSD的光位置测量系统具有位置分辨率高、测量精度高、性能稳定等特点,有广泛的应用前景.
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| 关 键 词： | 光位置检测 丝杠 测量不确定度 |
A High-precision Light Position Detector Based on Duolateral PSD |
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| Liu HongFei;Wang GanQuan;Chen GuiLin. A High-precision Light Position Detector Based on Duolateral PSD[J]. China Instrumentation, 2005, 0(11): 44-45 |
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| Authors: | Liu HongFei Wang GanQuan Chen GuiLin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Duolateral PSD |
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