| 以低温泵为主泵的真空检漏系统研究 |
| |
| 引用本文： | 孟冬辉,闫荣鑫,孙立臣,刘恩均,张海峰.以低温泵为主泵的真空检漏系统研究[J].真空,2010,47(6). |
| |
| 作者姓名： | 孟冬辉 闫荣鑫 孙立臣 刘恩均 张海峰 |
| |
| 摘 要： | 由于分子泵对氦气有较大抽速,因此在真空检漏系统中通常用分子泵作为主泵,但当检漏容器很大时需要大量分子泵。低温泵具有清洁无油、抽速大的优点,如果在检漏系统中能够采用低温泵作为主泵,可以大大减少真空泵数量。本文对以低温泵为主泵的真空检漏系统进行了实验研究,并对实验现象进行了分析。研究结果表明,低温泵可以有效提高检漏系统的工作真空度,对检漏系统的有效灵敏度影响很小,但以低温泵为主泵的检漏系统的反应时间比以分子泵为主泵的检漏系统反应时间长。
|
| 关 键 词： | 检漏 低温泵 灵敏度 反应时间 |
Study on the leak detection system with cryopump as main pump |
| |
| MENG Dong-hui,YAN Rong-xin,SUN Li-chen,LIU En-jun,ZHANG Hai-feng.Study on the leak detection system with cryopump as main pump[J].Vacuum,2010,47(6). |
| |
| Authors: | MENG Dong-hui YAN Rong-xin SUN Li-chen LIU En-jun ZHANG Hai-feng |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
