微小线值尺寸的非接触测量法

本文研究了用更斯—费聂尔,理论测量细丝、纤维的直径和刻线、缝隙等的宽度的方法。提出了按氦—氖激光射线衍射时产生的干涉条纹的位置来确定值尺寸的计算公式。文章对测表范围和误差评定方法作了分析。这种方法对于高精度测量和实现测量过程自动化具有广阔的前途。文中还列举了利用这种测量方法的两台测量装置的试验研究结果。