MEMS传感器及其在航空领域的应用

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微电子机械系统)一般指1μm~100μm的系统,是一种以半导体制造技术为基础的多学科交叉的前沿高新技术。MEMS传感器具有小型化、多功能、低成本、高可靠性的特点。由于航空工业对器件功能密度,可靠性等要求较高,这使MEMS传感器技术在航空领域得到广泛应用,同时也极大地促进了航空技术的发展。