| 压电式微定位机构及其控制系统的研究 |
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| 引用本文： | 孙宝玉,林洁琼,梁淑卿,王登月.压电式微定位机构及其控制系统的研究[J].压电与声光,2005,27(2):139-141. |
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| 作者姓名： | 孙宝玉 林洁琼 梁淑卿 王登月 |
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| 作者单位： | 1. 长春工业大学,机电学院,吉林,长春,130012
2. 长春市新星锅炉厂,吉林,长春,130021 |
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| 摘 要： | 研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构，给出了机构的动力学模型。结合检测装置和微机控制系统，设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统。实验表明，微定位系统定位行程可达100μm，定位分辨力0．01μm。
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| 关 键 词： | 微定位机构 压电陶瓷 柔性铰链 数字PID控制 |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)02-0139-03 |
| 修稿时间： | 2003年7月9日 |
Research on the Micro-position Mechanism Based on Piezoelectric Actuator and its Controlling System |
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| SUN Bao-yu,LIN Jie-qiong,LIANG Shu-qing,WANG Deng-yue.Research on the Micro-position Mechanism Based on Piezoelectric Actuator and its Controlling System[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2005,27(2):139-141. |
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| Authors: | SUN Bao-yu LIN Jie-qiong LIANG Shu-qing WANG Deng-yue |
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| Affiliation: | SUN Bao-yu~1,LIN Jie-qiong~1,LIANG Shu-qing~1,WANG Deng-yue~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-position mechanism piezoelectric actuator flexible joint digital PID control |
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