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士兰微电子再创MEMS传感器新品
摘    要:士兰微电子早在三年前开始进行MEMS传感器技术和产品的研发,并在MEMS传感器件的设计、信号处理芯片的设计、MEMS芯片工艺制造技术、MEMS封装技术、传感器测试技术等领域投入了全方位的研发资源,并于近期取得实质性进展,推出了三轴加速度传感器SC7A30和三轴磁传感器SC7M30。

关 键 词:MEMS传感器  微电子  信号处理芯片  加速度传感器  传感器技术  传感器件  制造技术  封装技术
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