| 全叉指电极d33模式压电悬臂梁俘能器研究 |
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| 引用本文： | 杨淑,董维杰,王大志,殷小林.全叉指电极d33模式压电悬臂梁俘能器研究[J].传感器与微系统,2015(11):52-55. |
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| 作者姓名： | 杨淑 董维杰 王大志 殷小林 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学电子科学与技术学院,辽宁大连,116023;2. 大连理工大学电子科学与技术学院,辽宁大连116023;辽宁省集成电路重点实验室,辽宁大连116023;3. 大连理工大学机械工程学院,辽宁大连,116023 |
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| 摘 要： | 为了克服表面叉指电极d33模式微机电系统(MEMS)悬臂梁振动俘能器中存在的压电材料极化不完全、存在弯曲电场等问题,提出了一种电极贯穿于整个压电层的全d33模式MEMS悬臂梁振动俘能器.根据机电耦合模型,分析了电极尺寸与材料厚度对压电俘能器输出功率的影响.优化结果表明:当硅基底厚度为20μm、电极宽度1μm时,电极间距最优范围为25～75 μm,PZT材料最优厚度为7μm,归一化后得到功率密度为34.5mWcm-3gn-2.通过在表面叉指电极d33模式俘能器的基础上增加电镀电极工艺,设计了不锈钢基底的全d33模式MEMS俘能器的工艺流程,完成了部分单元工艺.
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| 关 键 词： | 压电俘能器 叉指电极 d33模式 微机电系统 |
Study of complete interdigital electrode d33 mode piezoelectric cantilever energy harvester |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric energy harvester(PEH) interdigital electrode d33 mode MEMS |
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