| MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析 |
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| 引用本文： | 吴志亮,黄新龙,朱继南,张合. MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析[J]. 探测与控制学报, 2008, 30(5) |
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| 作者姓名： | 吴志亮 黄新龙 朱继南 张合 |
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| 作者单位： | 1. 南京理工大学机械工程学院,江苏,南京,210094
2. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029 |
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| 摘 要： | 探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺制作的要求和思考.
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| 关 键 词： | 引信 工艺 |
Analysis on the Fabrication of the MEMS Fuze Device and Its Problems |
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| WU Zhi-liang,HUANG Xin-long,ZHU Ji-nan,ZHANG He. Analysis on the Fabrication of the MEMS Fuze Device and Its Problems[J]. Journal of Detection & Control, 2008, 30(5) |
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| Authors: | WU Zhi-liang HUANG Xin-long ZHU Ji-nan ZHANG He |
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| Keywords: | MEMS LIGA |
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