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| 等离子体化学气相沉积法及其最新发展 | |
| 作者姓名： | 徐文国 金钦汉 |
| 作者单位： | 吉林大学化学系(徐文国)，吉林大学化学系(金钦汉) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 本文将对等离子体的性质、等离子体对化学气相沉积的作用、ＰＣＶＤ反应器以及 新近发展起来的微波等离子体化学气相沉积法（ＭＰＣＶＤ）的特点和应用作一综述。期 望引起国内同行对这一崭新领域的关注，把我国ＰＣＶＤ特别是ＭＰＣＶＤ的研究工 作推向前进。 |
| 关 键 词： | 等离子体 化学沉积 气相沉积法 |
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