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| 热键合制作Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12复合晶体 | |
| 引用本文： | 王晓丹,赵志伟,王静雅,徐军,Gilbert Bourdet. 热键合制作Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12复合晶体[J]. 无机材料学报, 2008, 23(1): 125-129. DOI: 10.3724/SP.J.1077.2008.00125 |
| 作者姓名： | 王晓丹 赵志伟 王静雅 徐军 Gilbert Bourdet |
| 作者单位： | 1. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院,研究生院,北京,100049 2. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800 3. Ecole Polytechnique Laboratoire,pour l'Utilisation des Lasers Intenses,Route de Saclay,Palaiseau 91128,France |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) , 上海市国际科技合作基金 , 中-法合作项目 |
| 摘 要： | 采用热键合技术制备了Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12(Yb:YAG/YAG)复合晶体,对复合晶体进行了结构表征和键合质量检测.利用光学显微镜和扫描电镜观察了复合晶体横截面的形貌;在偏光显微镜下观察键合区域的应力,利用干涉条纹来表征复合晶体的光学均匀性;通过红外透过光谱的测量来检测复合晶体的键合质量.实验结果表明:热键合技术制备的Yb:YAG/YAG复合晶体键合界面处无界面缺陷,不存在复合界面空间过渡层,光学均匀性良好. |
| 关 键 词： | Yb:YAG/YAG 键合质量 应力 光学均匀性 热键合 热键合 制作 复合晶体 Composite Bonding Thermal 过渡层 界面空间 存在 界面缺陷 键合界面 结果 实验 键合质量 检测 测量 透过光谱 红外 光学均匀性 表征 |
| 文章编号： | 1000-324X（2008）01-0125-05 |
| 收稿时间： | 2007-02-05 |
| 修稿时间： | 2007-03-19 |
Composite Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12 Crystal Prepared by Thermal Bonding |
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| WANG Xiao-Dan,ZHAO Zhi-Wei,WANG Jing-Ya,XU Jun,Gilbert Bourdet,J.-C. Chanteloup. Composite Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12 Crystal Prepared by Thermal Bonding[J]. Journal of Inorganic Materials, 2008, 23(1): 125-129. DOI: 10.3724/SP.J.1077.2008.00125 | |
| Authors: | WANG Xiao-Dan ZHAO Zhi-Wei WANG Jing-Ya XU Jun Gilbert Bourdet J.-C. Chanteloup |
| Abstract: | The composite Yb:Y3Al5O12/Y3Al5O12 crystal was made by thermal bonding method. Structure and bonding quality of composite crystal were characterized in detail. The cross section of the composite crystal was observed by optical microscope and scanning electron microscope (SEM), the stress in bonding area was observed by micropolariscope; optical homogeneity of the composite crystal was characterizated by interference fringe; bonding quality of the composite crystal was also studied by infrared transmission spectra. All experiments show that the composite Yb:YAG/YAG crystal has no interface defects, and no space transition layer in bonding area. The composite crystal has good optical homogeneity. |
| Keywords: | Yb:YAG/YAG bonding quality stress optical homogeneity thermal bonding |
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