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| EXL能谱仪薄样品X线的定量分析 | |
| 作者姓名： | 文慕冰 |
| 作者单位： | 武钢技术中心 |
| 摘 要： | 研究了Link公司能谱仪中RTS软件（薄膜定量分析软件）可靠性及适用性。实验结果表明：RTS软件定量分析结果误差较小。但对C、N、O等轻元素定量分析，试样厚度小于1500以下时，结果才比较可靠。 |
| 关 键 词： | 薄膜 定量分析 误差 能谱 化学分析 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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