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射频技术及其应用
作者姓名:酆惠芬 牛文军 等
作者单位:中国科学院电工研究所(酆惠芬,牛文军),中国科学院电工研究所(王雪顽)
摘    要:本文重点介绍了射频放电及射频加热技术在高科技领域和工业方面的一些具体应用,射频磁场感应无电极放电所产生的高能离子束可用于宇航推进;核聚变反应中的中性注入,半导体刻蚀,射频辉光放电产生的低温等离子体,可对纺织品表面处理,空气中射频放电可对卷烟纸电打孔,利用射频感应电场对生物体细胞,组织加热,引起细胞萎缩,坏死或组织纤维化,以达到治疗目的。

关 键 词:射频技术 射频放电 射频加热
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