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基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置
引用本文:
侯志坚,陈非凡. 基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置[J]. 电子器件, 2018, 41(6)
作者姓名:
侯志坚
陈非凡
作者单位:
河南工学院
摘 要:
针对低频加速度信号的高灵敏检测,论文设计了一种基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置。研究了永磁体质量块周围磁场的分布情况,通过有限元仿真的方法对PDMS材料制备成的薄膜支撑结构在不同载荷下进行应力分析。搭建了基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置,并采用静态测试的方式对加速度传感装置的灵敏度进行了分析,得到的灵敏度为4.68 Gauss/g。最后对装置的固有频率以及能实现的检测分辨率进行了测试分析,结果显示固有频率为10 Hz,可以实现的检测分辨率为8.57 μg。
关 键 词:
加速度传感;磁场分布;PDMS薄膜;灵敏度;固有频率;分辨率
Magnetic sensitive acceleration sensing device based on PDMS flexible support material
Abstract:
Keywords:
acceleration sensing
magnetic field distribution
PDMS film
Sensitivity
Natural frequency
Resolution
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