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| 基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置 | |
| 引用本文： | 侯志坚,陈非凡. 基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置[J]. 电子器件, 2018, 41(6) |
| 作者姓名： | 侯志坚 陈非凡 |
| 作者单位： | 河南工学院 |
| 摘 要： | 针对低频加速度信号的高灵敏检测，论文设计了一种基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置。研究了永磁体质量块周围磁场的分布情况，通过有限元仿真的方法对PDMS材料制备成的薄膜支撑结构在不同载荷下进行应力分析。搭建了基于PDMS柔性支撑材料的磁敏感加速度传感装置，并采用静态测试的方式对加速度传感装置的灵敏度进行了分析，得到的灵敏度为4.68 Gauss/g。最后对装置的固有频率以及能实现的检测分辨率进行了测试分析，结果显示固有频率为10 Hz，可以实现的检测分辨率为8.57 μg。 |
| 关 键 词： | 加速度传感；磁场分布；PDMS薄膜；灵敏度；固有频率；分辨率 |
Magnetic sensitive acceleration sensing device based on PDMS flexible support material |
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| Abstract: | |
| Keywords: | acceleration sensing magnetic field distribution PDMS film Sensitivity Natural frequency Resolution |
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