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声学扫描技术在高可靠领域塑封器件检测中的应用
引用本文:
李永正,党炜,李昕昕,张泽明. 声学扫描技术在高可靠领域塑封器件检测中的应用[J]. 电子器件, 2018, 41(1)
作者姓名:
李永正
党炜
李昕昕
张泽明
作者单位:
中国科学院空间应用工程与技术中心
基金项目:
中国科学院青年创新促进专项基金
摘 要:
为了提高塑封器件在高可靠应用领域的可靠性,需要使用扫描声学显微镜检测塑封器件内部界面分层、空洞和裂纹等缺陷。介绍了扫描声学显微镜的工作机理和几种主要扫描模式。综合分析了大量检测实例,指出塑封器件内部典型缺陷的特点和辨别方法,对扫描声学显微镜在塑封器件无损检测方面具有参考意义。此外,对现行的扫描声学显微镜检测塑封器件的检测标准提出了改进建议。
关 键 词:
塑封器件;缺陷研究;超声波扫描;检测标准;可靠性
Application of Scanning Acoustic Technology in the Detection of Plastic Encapsulated Device in the High Reliability Field
Abstract:
Keywords:
Plastic Encapsulated Device
Defect Research
Ultrasonic Scanning
Detection Standard
Reliability
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