| 基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究 |
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| 引用本文： | 薛国芳,王潇.基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究[J].电子器件,2018,41(5). |
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| 作者姓名： | 薛国芳 王潇 |
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| 作者单位： | 郑州旅游职业学院 |
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| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备开发专项 |
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| 摘 要： | 论证了一种基于SOI片上工艺的，通过光强差分测量加速度的微光机电系统（MOEMS）加速度计。器件主要结构为较大悬浮质量块对称两端加工出两面V型反射镜。系统整个微机械结构在细直弹性梁支撑下，因受惯性力作用V型镜发生位移改变，从而将引入系统中的光信号进行差分反射。最后，通过外部光电探测器测量出各通路光纤的光强信号来测算加速度值。片上微加工所得的器件经实验测量得到了：7.77×10-2 μm的结构灵敏度，1.38 kHz谐振频率，3.73 mV/g器件灵敏度和0.987的线性度。
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| 关 键 词： | 微光机电系统，光强差分测量，加速度计 |
The research of MOEMS accelerometer with light intensity differential detection in plane |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MOEMS light intensity differential detection accelerometer |
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