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| 基于兰姆波谐振MEMS阵列的无喷嘴微液滴喷射研究 | |
| 引用本文： | 张鸿翔,宁远,刘伯华,张孟伦.基于兰姆波谐振MEMS阵列的无喷嘴微液滴喷射研究[J].传感技术学报,2018,31(9). |
| 作者姓名： | 张鸿翔 宁远 刘伯华 张孟伦 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金“新型硅基MEMS兰姆波谐振器的理论和关键技术研究” |
| 摘 要： | 本文基于微机电（MEMS）兰姆波谐振器（LWR）,设计了一种可在1微升液体中聚焦声波的压电声波执行器件，实现了皮升级液滴的生成和无喷嘴喷射。该压电声波执行器由8个谐振频率为247.6 MHz的LWR组成，通过物理场有限元仿真计算，设计了可在中心50μm区域内实现声波聚焦的器件结构。在实验中，通过制作的声波聚焦器件，观察到在1微升液体表面生成并喷射出皮升级小液滴现象。通过对输入功率的控制，可以实现单液滴喷射、多液滴连续喷射、以及局部沸腾多向喷射。液滴喷射系统利用声波聚焦产生的声流体效应实现无喷嘴的液滴喷射，在多个工程领域尤其是微流控方向有广阔的应用前景，如多向液滴喷射、细胞位置操控等。 |
| 关 键 词： | 液滴喷射 声波聚焦 MEMS执行器 压电谐振器 |
Nozzleless Micro-Droplet Ejection Using Lamb Wave Resonant MEMS Ejector Array |
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| Abstract: | |
| Keywords: | droplet ejection acoustic focusing MEMS actuator piezoelectric resonator |
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