| 纳焦飞秒激光在有机材料表面刻划微结构光栅的研究 |
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| 引用本文： | 梁建国,王清月,倪晓昌,胡明列,柴路,贾威. 纳焦飞秒激光在有机材料表面刻划微结构光栅的研究[J]. 纳米技术与精密工程, 2004, 2(4): 274-277 |
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| 作者姓名： | 梁建国 王清月 倪晓昌 胡明列 柴路 贾威 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 教育部科学技术研究重大资助项目(10410)，中国博士后基金资助项目. |
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| 摘 要： | 使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究．通过理论分析得到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响，进行了系统的加工实验，加工结果与理论分析基本吻合．在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅的刻划，并对刻划的光栅进行了衍射和色散测试，调整光栅的尺寸和排列方式，得到了形状各异的衍射图案。
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| 关 键 词： | 飞秒激光微加工 相干信号探测 微结构光栅 多脉冲烧蚀阈值 |
| 文章编号： | 1672-6030(2004)04-0274-04 |
| 修稿时间： | 2004-10-25 |
The Study on Machining Microstructure Grating at the Surface of Organic Material with Nanojoule Femtosecond Laser |
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| LIANG Jian-guo,WANG Ching-yue,NI Xiao-chang,HU Ming -lie,CHAI Lu,JIA Wei. The Study on Machining Microstructure Grating at the Surface of Organic Material with Nanojoule Femtosecond Laser[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2004, 2(4): 274-277 |
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| Authors: | LIANG Jian-guo WANG Ching-yue NI Xiao-chang HU Ming -lie CHAI Lu JIA Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | femtosecond laser micromachining interference signal detection microstructure grating threshold of ablation o f multiple pulses |
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