| 光敏性杂化SiO2波导薄膜的制备、表征及应用 |
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| 引用本文： | 王玥 吴远大 李建光 安俊明 王红杰 张家顺 尹小杰 胡雄伟. 光敏性杂化SiO2波导薄膜的制备、表征及应用[J]. 功能材料, 2007, 38(A01): 327-329 |
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| 作者姓名： | 王玥 吴远大 李建光 安俊明 王红杰 张家顺 尹小杰 胡雄伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心,北京100083 |
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| 基金项目： | 基金项目：国家自然科学基金资助项目（60507006;60477035） |
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| 摘 要： | 利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶（sol-gel）SiO2材料，在预生长了18μm厚的SiO2上包层的硅基片上旋涂成膜。经前烘、紫外曝光、后烘的薄膜在5μm×5μm的扫描范围内的表面粗糙度只有0．266nm，表面起伏度只有0．336nm。利用紫外光直写技术，制作出条形波导器件。SEM照片表明波导端面形状较好，侧壁陡直。对1×4多模干涉型分束器进行初步的通光测试，观察到分光效果较好的近场输出图像。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 紫外光直写 杂化 光波导 分束器 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）增刊-0327-03 |
| 修稿时间： | 2007-05-21 |
Fabrication, characterization and application of photosensitive hybrid SiO2 optical waveguide thin ~m |
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| WANG Yue, WU Yuan-da, LI Jian-guang, AN Jun-ming, WANG Hong-jie, ZHANG Jia-shun, YIN Xiao-jie, HU Xiong-wei. Fabrication, characterization and application of photosensitive hybrid SiO2 optical waveguide thin ~m[J]. Journal of Functional Materials, 2007, 38(A01): 327-329 |
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| Authors: | WANG Yue WU Yuan-da LI Jian-guang AN Jun-ming WANG Hong-jie ZHANG Jia-shun YIN Xiao-jie HU Xiong-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel UV-lightimprinting hybridization optical waveguide splitter |
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