| Fe3O4缓冲层对CoFe2O4薄膜磁性能的影响 |
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| 引用本文： | 金沈贤,钟智勇,任学恒,张怀武.Fe3O4缓冲层对CoFe2O4薄膜磁性能的影响[J].功能材料,2007,38(A03):1080-1083. |
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| 作者姓名： | 金沈贤 钟智勇 任学恒 张怀武 |
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| 作者单位： | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（60490296;60671029;90306015）. |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射在基片Si（100）和Fe3O4（20nm）/Si（100）上制备了钴铁氧体（CoFe2O4）薄膜，制备的薄膜在空气气氛中进行300～1000℃的退火处理，采用XRD、VSM分析了薄膜的微结构以及磁性能。结果表明，制备的钴铁氧体薄膜均具有尖晶石结构，Fe3O4缓冲层薄膜促进了钴铁氧体薄膜的结晶，但降低了钴铁氧体薄膜的垂直各向异性和垂直于膜面方向的矫顽力，而钴铁氧体薄膜的磁化强度和矩形度得到了一定的提高。
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| 关 键 词： | 钴铁氧体 磁性薄膜 磁性能 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）增刊-1080-04 |
| 修稿时间： | 2007-07-23 |
Effect of Fe3O4 underlayer on magnetic properties of CoFe2O4 films |
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| JIN Shen-xian, ZHNG Zhi-yong, REN Xue-heng, ZHANG Huai-wu.Effect of Fe3O4 underlayer on magnetic properties of CoFe2O4 films[J].Journal of Functional Materials,2007,38(A03):1080-1083. |
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| Authors: | JIN Shen-xian ZHNG Zhi-yong REN Xue-heng ZHANG Huai-wu |
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| Affiliation: | Institute of Micro-Electronics and Solid-State Electronic,University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | cobalt ferrite magnetic thin films magnetic properties |
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