| 用等离子体方法以及化学处理对Ti-O薄膜进行活化改性的研究 |
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| 引用本文： | 樊珊,陈俊英,孙鸿,黄楠.用等离子体方法以及化学处理对Ti-O薄膜进行活化改性的研究[J].功能材料,2007,38(A05):1816-1818. |
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| 作者姓名： | 樊珊 陈俊英 孙鸿 黄楠 |
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| 作者单位： | 西南交通大学材料科学与工程学院 材料先进技术教育部重点实验室,四川成都610031 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（30670564）;国家重点基础研究发展计划（2005CB623904） |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法制备Ti-O薄膜，然后采用等离子体浸没离子注入设备，以氢气作为离子注入源，轰击至钛氧薄膜表面，使其产生羟基基团。并对注入后样品进行酸活化，以期得到更多的羟基。采用傅立叶红外光谱仪（FTIR）、X射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱仪（XPS）、扫描电子显微镜（SEM）等对材料表面的结构、成份、官能团变化进行表征。研究结果显示，Ti-O薄膜经H^＋注入后再进行活化，磁控溅射Ti-O薄膜得到明显增多的羟基。
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| 关 键 词： | 钛氧膜 等离子体活化 酸活化 羟基 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）增刊-1816-03 |
| 修稿时间： | 2007-07-30 |
Activation of TiO2 films by PIH and chemical modification |
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| FAN Shan, CHEN Jun-ying, SUN Hong, HUANG Nan.Activation of TiO2 films by PIH and chemical modification[J].Journal of Functional Materials,2007,38(A05):1816-1818. |
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| Authors: | FAN Shan CHEN Jun-ying SUN Hong HUANG Nan |
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| Affiliation: | Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education, School of Material Science and Engineering ,Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2 film plasma immersion ion implantation activation by acid hydroxyl group |
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