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ZnO纳米线阵列的图形化生长
引用本文:艾磊,方国家,刘逆霜,王明军,赵兴中.ZnO纳米线阵列的图形化生长[J].功能材料,2007,38(A01):419-421.
作者姓名:艾磊  方国家  刘逆霜  王明军  赵兴中
作者单位:[1]武汉大学声光材料与器件教育部重点实验室,湖北武汉430072 [2]中国科学院传感技术国家联合重点实验室,上海200050
基金项目:基金项目:湖北省自然科学基金资助项目(2006ABA215)
摘    要:采用光刻和射频磁控溅射技术在Si衬底上制备了图形化的ZnO种子层薄膜。分别采用气相榆运和水热合成法,制备了最小单元为30μm的图形化的ZnO纳米线阵列。X射线衍射(XRD)分析显示单晶纳米线阵列具有高度的c轴001]择优取向生长性质,从扫描电子显微镜(SEM)照片看出,阵列图形完整清晰,边缘整齐,纳米线阵列在室温下光致发光(PL)谱线中在380hm左右具有强烈的紫外发射峰,可见光区域发射峰得到了抑制,证明ZnO纳米线阵列氧空位缺陷少,晶体质量高。

关 键 词:ZnO纳米线  光刻  图形化生长  气相输运  水热合成
文章编号:1001-9731(2007)增刊-0419-03
修稿时间:2007-07-03

Patterned growth of ZnO nanowire arrays
AI Lci, FANG Guo-jia, LIU Ni-shuang, WANG Ming-jun, ZHA Xing-zhong.Patterned growth of ZnO nanowire arrays[J].Journal of Functional Materials,2007,38(A01):419-421.
Authors:AI Lci    FANG Guo-jia    LIU Ni-shuang  WANG Ming-jun  ZHA Xing-zhong
Affiliation:1.Key Lab of Acoustic and Photonic Materials and Devices of Ministry of Education, Wuhan University, Wuhan 430072, China; 2.State Key Laboratory of Transducer Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China
Abstract:
Keywords:ZnO nanowires  photolithography  patterned growth  vapor phase transport  hydrothermal synthesis
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