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俄罗斯IC工业及其制造设备
作者姓名:翁寿松
作者单位:中国华晶电子集团公司无锡市无线电元件四厂
摘    要:本文介绍了俄罗斯IC工业概况以及一条08μm、150mm(6英寸)圆片生产线的主要制造设备和分析仪器。

关 键 词:俄罗斯  IC  制造设备
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