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| 微晶/非晶Si∶ C∶ H半导体多层膜的结构研究 | |
| 引用本文： | 王洪涛,冯良桓,徐明.微晶/非晶Si∶ C∶ H半导体多层膜的结构研究[J].电子显微学报,1997(4). |
| 作者姓名： | 王洪涛 冯良桓 徐明 |
| 作者单位： | 四川联合大学材料系 |
| 摘 要： | 采用普通辉光放电分解硅烷的方法，沉积了具有交替微晶和非晶Ｓｉ∶Ｃ∶Ｈ亚层的多层膜样品。从喇曼散射结果分析，样品具有明显的微晶和非晶两相结构；在低角度Ｘ射线衍射谱中，观察到了多级的衍射峰，证明了多层结构的存在 |
| 关 键 词： | 非晶半导体 多层膜结构 低角度X射线衍射 |
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