三维金属MEMS器件电化学制造技术

EFAB技术是微加工领域一项重大的突破，开辟了MEMS金属器件加工的新天地，与其他微加工技术相比，EFAB技术的主要优点是：可实现MEMS中复杂三维金属微结构器件快速、自动化、批量制造。基于快速原型思想，EFAB利用实时掩模技术将金属材料层层叠加起来，可以加工任意形状的金属三维微结构。介绍了EFAB技术原理，并对其加工设备、分层技术、实时掩模、过程监控等关键技术进行了剖析，最后给出了应用实例。