| 电容传感器新型微弱电容测量电路 |
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| 引用本文： | 王雷,王保良,冀海峰,黄志尧,李海青.电容传感器新型微弱电容测量电路[J].传感技术学报,2002,15(4):273-277. |
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| 作者姓名： | 王雷 王保良 冀海峰 黄志尧 李海青 |
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| 作者单位： | 工业控制技术国家重点实验室,浙江大学控制系自动化仪表研究所,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金资助项目 ( 60 0 0 94)，国家自然科学基金重大资助项目 ( 59995460 -5)，国家“八六三”计划专项经费资助项目 ( 2 0 0 1AA413 2 10 ) |
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| 摘 要： | 基于电荷放大原理提出了一种新型的用于电容传感器的微弱电容测量电路。该电路具有较强的抗杂散电容性能 ;较好的解决了电子开关的电荷注入效应对测量分辨率的影响问题 ;该电路无需滤波器 ,基于该新型电路的电容数据采集系统可以达到很高的数据采集速度。试验测试表明该电路线性度好 ,灵敏度为 4 .8m V/f F,分辨率可达到 0 .5 f F。
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| 关 键 词： | 电容 测量 传感器 电路 |
| 文章编号： | 1004-1699(2002)04-0273-05 |
| 修稿时间： | 2002年7月4日 |
New Small Capac itanceMeasur ing Circuit for Capac itance Sensor |
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| W A N G L ei,W A N G B aoliang,J I H aif eng,H UA N G Z h iy ao,L I H aiqing.New Small Capac itanceMeasur ing Circuit for Capac itance Sensor[J].Journal of Transduction Technology,2002,15(4):273-277. |
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| Authors: | W A N G L ei W A N G B aoliang J I H aif eng H UA N G Z h iy ao L I H aiqing |
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| Affiliation: | N ational K ey L aboratory of Ind ustrial Control T echnolog y , Institute of A utom ation Instrum entation,
D ep artm ent of Control S cience and Eng ineering , Z hej iang U niversity , H ang zhou 310027, P. R. China |
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| Abstract: | A new small capacitance measuring circuit based on charge amplifier principle was developed for capacitance sensor. The advantages of this circuit are stray immune, high resolution because of no effect of charge injection and high data acquisition rate because of no filter in this circuit. Test results show that the linearity of this circuit is good, the sensitivity of 4.8 mV/fF and resolution of 0.5 fF can be achieved. |
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| Keywords: | capacitance measurement sensor circuit |
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