| 基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器 |
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| 引用本文： | 王香文,陈玲.基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器[J].计量与测试技术,2007,34(1):10-11,13. |
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| 作者姓名： | 王香文 陈玲 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 利用单晶硅的压阻效应原理,采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器.该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构,产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验.证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点,可以广泛用于石油、冶金、化工、航空、航天、武器装备等领域压力的测量和控制.
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| 关 键 词： | 压力 压阻效应 传感器 微机电系统 单晶 硅的压阻效应 超小型 压力传感器 Principle Silicon Based 控制 测量范围 武器装备 航天 航空 化工 冶金 石油 稳定性 精度 体积 性能试验 环境 |
| 收稿时间： | 2006-10-24 |
| 修稿时间： | 2006-10-24 |
Ultra-miniature Pressure Sensor Based on the Silicon Piezo-resistor Principle. |
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